对空气中SF6气体及其毒性分解产物的允许含量各国均作了相应规定，其中美国的标准要求见下表。

        根据动物性试验和现场调查的结果，并参照美国政府工业卫生医师会议（ACGIH）的建议，生产车间空气中SF6的浓度阈限值为600mg/m3；短期接触阈限值为750  mg/m3；前苏联批准的生产车间空气中SF6的最高浓度为5000  mg/m3，因此，建议国内生产、使用SF6气体的车间空气中SF6的最高浓度不超过6000  mg/m3。

        我国在GB/T8905-1996《六氟化硫电气设备中气体管理和检验导则》中等效采用了IEC480：1974《电气设备中六氟化硫气体导则》和IEC376：1971《新六氟化硫气体的规范和验收》。并明确规定，操作间空气中SF6气体浓度极限值为：

        空气中SF6气体的允许浓度不大于1000μL/L（6g/m3）或空气中氧含量应大于18%；短期接触，空气中SF6气体的允许浓度不大于1250μL/L（7.5g/m3）

空气中SF6气体及其毒性分解产物的允许含量（美国标准）

序号                    毒性气体及固体名称                       允许含量

1                            SF6                                      100g/g

2                            SF4                                        0.1/g

3                            SOF4                                     2.5  m3

4                            SOF2                                    2.5  m3

5                            SO2                                       2μgg

6                            SO2F2                                   5μg/g

7                            S2F10                                    0.025μg/g

8                            S2F10O                                 0.5μg/g

9                            SiF4                                     2.5 mm3

10                          HF                                        3μg/g

11                          CF4                                       2.5  mg/m3

12                          CS2                                      10μg/g

13                          ALF3                                    2.5  mg/m3

14                          CuF2                                   2.5  mg/m3

15                          Si（CH3）2F2                        1  mg/m3